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    听上去简单，其实却是人类历史上最复杂最精密的机台，没有之一。

    放眼全球，能做到紫外的，只有asml，佳能，尼康三家，而能做到极紫外的，则只有荷兰asml，其余所有竞争对手，全部惨遭淘汰，消失在历史的长河中。

    “开始！”

    长春光机所的所长叫杜维明，随着他一声令下，全封闭绝尘实验室里，光刻机开始运行，大概也就十几秒钟过后，一片十二寸硅晶圆就被送下了机台。

    其实，光刻机工作速度是很快的，每小时出片两百张以上，完全不存在任何问题。

    制约产能的主要是沉积设备，pvd和cvd这类，其次是刻蚀设备包括icp，ccp，die这几种机台，另外热处理设备工作效率也十分感人。

    一条月产能一万片十二寸晶圆的fab制造线，光刻机或许只有四五台，但刻蚀机，却起码要有六十台起步，如果想要追求高效率，甚至要堆一百台以上的刻蚀机。

    目前，中微半导体的介质刻蚀技术，硅通孔刻蚀技术，位列全球前三，全球最牛的半导体代工厂台积电，生产线上就有成百上千台来自中微的刻蚀机，算是国产半导体行业里比较争气的存在。

    “成了！”

    “一次出片成功，比我预想的还要顺利！”

    “不愧是昆仑集团啊，临时加进来的光学系统，竟然和旧机台配合的这么好！”

    实验室里，穿着全套无尘服的工程师，取下十二寸硅晶圆，仔细看，会发现上面出现了密密麻麻，无比繁杂的线条，灯光下亮晶晶的，甚是喜人。


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